1.设备简介： 

赛默飞 Nexsa G2型XPS能提供全自动、高通量的表面分析，可搭载多种附件及实现原位技术联用，例如紫外光电子能谱(UPS)和扫描电镜(SEM)。广泛应用于材料科学、化学化工、半导体及薄膜、能源电池、微电子、信息产业、环境等高新技术领域。

2.设备功能：

包括普通XPS测试，深度剖析测试，XPS成像扫描，氩离子清洁样品表面及UPS测试，此外，可与SEM联用进行样品特定区域XPS测试。

3.主要技术参数：

X射线光源束斑面积10μm ~ 400μm可调；能量分辨率0.5eV；离子强能量范围100-4000 eV；He紫外光源能量分辨率120 meV(Ag费米边)。

4.样品要求:

样品干燥，不挥发，在超高真空中及X光照射下不分解，不释放气体，无强磁性及放射性。S/P/Br/I/Pb/F/Hg等元素单质不测试。

5.联系方式：

设备存放地点：机材楼C105

联系人：赵丹丹

电话：15097681151

邮箱：zdd15097681151@163.com