Thermo Apreo 2S 高分辨场发射扫描电子显微镜

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1.设备简介

       Thermo Apreo 2S  高分辨场发射扫描电子显微,配备3种拍摄模式(Standard、Optiplan、Immertion)和多个探测器(ETD、T1、T2、T3、DBS),以及EDS能谱仪,可对材料科学、半导体、新能源等各领域样品进行超高分辨率的形貌观测、成分及元素分析。此外,本电镜可与 中心的XPS(Thermo Nexsa G2)联用,对同一样品同一区域进行微区形貌观测与分析的同时,原位进行化学价态分析,实现对样品的多维度分析表征。

2.设备功能

利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察、材料断口分析。二次电子像、背散射电子成像、EDS。

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3.技术参数

二次电子像分辨率

高加速:0.5 nm@15.0 kV;低加速:0.9 nm@1.0 kV (GB);

加速电压

0.1 ~ 30 kV

探针电流

pA 级 ~ 200 nA以上

放大倍率

x25 ~ 1,000,000

EDS

能量分辨率:123-125 ev;分析元素: B5~U92;检测限:0.1%~0.5%

4.样品要求

最基本要求:无水、无油、无挥发性物质;

粉末样品:不能有磁性或易被磁化;

样品尺寸:高度不得超出50mm,观察表面形貌,薄膜、块体尺寸宜在10*10mm左右;

粉末样品及不导电样品:可喷金喷碳,粘在导电胶上进行观察。

5.联系方式

设备存放地点:机材楼C104

联系人:柴骁函    

电话:15022329889

邮箱:1119131813@qq.com