Thermo Apreo 2S 高分辨场发射扫描电子显微镜
时间:2024-10-31 来源: 作者: 访问量:
1.设备简介
Thermo Apreo 2S 高分辨场发射扫描电子显微,配备3种拍摄模式(Standard、Optiplan、Immertion)和多个探测器(ETD、T1、T2、T3、DBS),以及EDS能谱仪,可对材料科学、半导体、新能源等各领域样品进行超高分辨率的形貌观测、成分及元素分析。此外,本电镜可与 中心的XPS(Thermo Nexsa G2)联用,对同一样品同一区域进行微区形貌观测与分析的同时,原位进行化学价态分析,实现对样品的多维度分析表征。
2.设备功能
利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察、材料断口分析。二次电子像、背散射电子成像、EDS。
3.技术参数
二次电子像分辨率 |
高加速:0.5 nm@15.0 kV;低加速:0.9 nm@1.0 kV (GB); |
||
加速电压 |
0.1 ~ 30 kV |
探针电流 |
pA 级 ~ 200 nA以上 |
放大倍率 |
x25 ~ 1,000,000 |
||
EDS |
能量分辨率:123-125 ev;分析元素: B5~U92;检测限:0.1%~0.5% |
4.样品要求
最基本要求:无水、无油、无挥发性物质;
粉末样品:不能有磁性或易被磁化;
样品尺寸:高度不得超出50mm,观察表面形貌,薄膜、块体尺寸宜在10*10mm左右;
粉末样品及不导电样品:可喷金喷碳,粘在导电胶上进行观察。
5.联系方式
设备存放地点:机材楼C104
联系人:柴骁函
电话:15022329889
邮箱:1119131813@qq.com